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工业超纯水水质标准是什么?

文章编辑:水处理设备 发表时间: 浏览次数:

 

化学指标单位:μg/L


序号


水质项目


一级高纯水指标


二级高纯水指标


1


电阻率(25MΩ·cm


≥15


≥10


2


电导率,μs/cm


0.05


0.1


3


PH


6.87.2


6.67.4


4


细菌总数,个/mL


3


9


5


微粒(直径>0.5μm,粒/mL


150


300


6


二氧化硅


10


20


7


有机物(以COD计)


0.3


0.5


8


Na


0.5


2


9


Fe


1


2


10


Cu


0.5


1


11


Ca


1


3


12


Mg


0.2


1


13


Zn


0.5


1


14


Mn


0.2


0.5


 

说明:①一级高纯水合用于大规模集成电路,微波器件以及有相同要求到半导体器件产品。
   ②二级高纯水合用于一般电路,分立器件以及有相同要求的半导体器件产品。
   ③本表按1980年电子产业部尺度摘录。
 


 

 

"工业超纯水水质标准是什么?"由“中水回用”厂家-滢源水处理设备整理发布,如需转载请注明来源及出处,原文地址:/news/318.htm

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